在正常操作下旋片泵通常是极其可靠的，不容易出故障。因此，请确认是不是真空故障，例如真空不良、抽真空速度下降或完全没有真空。泵性能不佳的原因有多种。在拆泵进行维修以前先做以下初步检查是很好的做法。

        1、检查真空计，确定真空计是否存在故障或需要校准。检查真空计进气口区域是否有任何污染物。

        2、检查前级管并确保所有管件和管接头拧紧，查看系统是否漏气。如果前级管有波纹管或挠性管接头，请检查装置中是否有导致漏气的裂缝。

        3、检查系统污染。如果系统被一些工艺物质污染，则该物质可能导致泵内部的机油降解。机油颜色可能变暗，在一些情况下甚至为“乳状”。

        通常更换机油或以合适等级的机油冲洗泵数次以清除受污染物质有助于使泵恢复初始性能。如果在进行所有检查后仍然不能解决问题，可以将泵送至授权服务中心维修。请确保在维修泵时使用原厂配件，因为旋片泵的良好性能在很大程度上取决于良好的表面加工以及有效密封。

        在旋片真空泵中真空泵油有多种功能：

        1.  润滑：真空泵油润滑叶轮（叶片）周围的滑动面和轴承区域。

        2.  冷却：产生真空时泵压缩气体产生热量，真空泵油是散发泵部件的热量并将热量传到泵外壳的关键，然后在泵外壳利用空气冷却散发热量。

        3. 密封： 真空泵油密封泵装置内部的间隙，以确保入口/出口之间达到良好的压差。

        4.抗腐蚀：优质真空泵油连续覆盖了泵内部部件，防止泵送的水或化学蒸汽的腐蚀。

        Edwards致力于生产一系列真空泵油，即使在苛刻环境中使用寿命也很长。其它真空泵油能可以润滑，但是饱和蒸汽压可能会太高，从而使真空泵油在较低压力下放气而不能达到良好的真空度。另一个问题是真空泵油由于高温或进入泵体的腐蚀性蒸汽而氧化。

        Edwards Ultragrade真空泵油经过精心选择，饱和蒸汽压低，并包含抗氧化剂和腐蚀抑制剂，同时在正常操作温度范围内具有合适的粘度。这些真空泵油可能比其它产品价格要高，但是具有更长的使用寿命，防止真空泵损害的能力更强，所以长期来看将节省客户的成本。

        在旋片泵中，机油在泵装置的润滑、冷却和密封中起到了关键的作用。因此保持机油状态良好是至关重要的。蒸汽在泵油中冷凝会导致润滑变差，增加移动部件的磨损，真空性能整体下降。减少冷凝的一些建议包括：

        1）在处理前后加热泵；

        2）在温热状态下运行泵；

        3) 利用气镇稀释可冷凝气体。

        因此，在一些含蒸汽的应用中采用油封泵是可能的，但是必须非常小心地维护，而且这些情况下维护成本可能较高。

        此外，这类应用还可考虑干式泵方案，这种方案实现了安全、洁净的真空、优良的真空性能，而且维护极少。涡旋式干泵为要求10－3毫巴真空水平的工艺提供了经济的干式抽真空方案。涡旋泵采用两个互相啮合的涡盘产生抽真空作用。一个涡盘是固定的，另一个运动涡盘围绕固定涡盘的中心旋转。随着旋转涡盘的转动，会形成月牙形的气体容积并不断减小。被捕集的气体也因此不断被压缩，直至气体负荷最终被泵中心的排气口完全排出。涡盘具有非金属的轴向密封片， 1年左右需要更换一次。真空部件中没有轴承等关键部件，因此泵是完全无油的。

        因此涡旋泵可用于处理少量蒸汽和化学品应用，还具有其它优点，例如与油封旋片泵相比性能更好、运行时间更长、维护更少。

        大多数涡轮泵采用了涂有润滑油脂的陶瓷涂层球轴承。经过一段时间的使用之后，这些轴承会由于磨损而产生过大的噪音和振动，并最终卡死。

       许多因素会影响轴承的使用寿命，最重要的一个因素是它们的操作温度。用户必须确保涡轮分子泵得到充分冷却。可以使用水冷，如果环境温度足够低也可采用强制风冷。泵的负载循环也会影响其寿命，因为频繁地启动/停止，或者长时间抽取大负载气体都会由于气体压缩而加剧转子的发热，这些热量必须通过轴承传导到相对较冷的泵体。

       一般而言，人们认为油润滑优于脂润滑，因为脂会随时间的推移而变干，并降低润滑能力，在很高的操作温度下尤其如此。Edwards EXT分子泵采用油润滑，油路始终密封而且安装了一个过滤器用于除去氧化产生的颗粒，因此可以长时间保持最佳润滑能力。泵的上轴承采用永磁式磁浮轴承，完全洁净并免维护，同时能够优化单个下轴承的设计，减少噪音和振动的水平。

        如果希望更长的使用寿命，用户还可以考虑使用Edwards STP系列磁悬浮涡轮分子泵，这种泵的转子悬浮在磁场中，是非接触式轴承，因此无需维护。这些泵的抽气能力在300 升/秒 到 4500升/秒之间。详情请访问www.edwards-vacuum.com.cn。

        真空表头应当尽量接近需要获取压力值的位置。如果真空表安装在长管路的末端，你可能会得到不准确的读数。热导式压力表头应当垂直安装，否则热丝周围的气体对流将不同于校准状态，并在较高压力下引起误差。务必注意不要让液体和固体颗粒落入压力表头。确保压力表头的安装位置不是正对着真空室内的任何排气阀或进气阀，因为这会导致错误的压力读数（聚束效应）并可能损坏压力表的构造。

        压力读数可取决于真空室内压力表头的位置，泵入口附近的压力可能较低，因此将压力表头安装在前级或二次泵的进气口附近可能不合适。如果你使用油泵—例如采用旋片泵或扩散泵作为二次泵，确保压力表头没有受到泵油的污染。使用光滑的90度弯管和一些挡板可能有助于防止泵油污染压力表头。请确认是否对压力表头采取了足够的电场和磁场隔离措施，因为强电磁场可能导致测量误差，对冷阴极潘宁真空表头尤其如此。

        答案：是的，干式泵可以用于富含氧气的应用中。我想您的旋片泵含有可接触氧气的氟化脂（PFPE润滑油）。这种润滑液或润滑油不含烃，因此不是燃料源。类似地，如果所选干式泵有一个带润滑的齿轮箱（通常情况都是这样），那么我们建议用PFPE润滑油来润滑和浸泡齿轮箱。在很少的情况下当一些齿轮箱润滑液进入泵的扫气容积时，那么在高浓度氧气下如果泵出现故障并产生火花（点火源）也不会存在燃料源。所以原理始终是去除爆炸发生的三个必要条件之一（氧气、点火源和燃料源）。在一些情况下也可以将泵中的氧气浓度稀释至低于助燃的水平，这通常是采用惰性气体（如氮）实现的。在这些情况下始终记住要咨询专家的意见。

        Edwards提供各种可以用于抽吸氧气和其它腐蚀性、可燃性和有毒物质的干式真空泵和油封泵。我们在亚洲和全球各地经验丰富的应用工程专家可以针对你的特定需求提出建议。

        答案：有些水蒸汽会绕过冷凝器的管式或板式结构而进入真空泵。当水蒸汽在真空泵油中冷凝（液化）时，加速了泵油的污染，泵油就需要定期更换。在运行时，打开气镇阀（在压缩循环中让干空气进入真空泵），可以不同程度地减轻这种情况，具体取决于工艺条件和真空泵自身的情况。但是，这将增加真空泵极限压力。

        最彻底的解决办法是使用干式泵更换油封泵，以清除泵中的液态粘结物真空泵油！干式真空泵设计的内部运行温度比油泵高，因此可以消除蒸汽的冷凝。

        Edwards是全球干式真空泵市场的领导者，拥有在工业、工艺和研发行业的多种获奖科技。如果有需要请与当地Edwards办事处或经销商联络，我们愿意为您的实际应用提供帮助。