STPA1603C 涡轮分子泵

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵设计采用了Edwards先进的转子技术，它抽气量高、可靠性强、性能一流的特点，满足了新一代半导体工艺流程的需求。该泵半机架型控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，同时先进的沉积减少系统提高了泵的可靠性和性能。STPA1603C已经成功用于最新的200mm刻蚀工艺，也能够满足新一代300mm氧化物刻蚀工艺的需求。