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STPA2203C 涡轮分子泵
Edwards STPA2203C是一款为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵，它采用先进的转子技术，成就了其在绝大多数工艺流程中一流的性能。全新的半机架型控制器能够节省更多空间，集成直流驱动技术，无需电池即可运行。STPA2203C已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的刻蚀、离子注入和沉积设备研发与制造。
性能特点
应用领域
性能曲线
1 2200l/s N2 2 1700l/s H2
几何尺寸
A 电连接口
B 出气口
C 吹扫口
D 水A 电连接口
B 出气口
C 吹扫口
D 水冷出水口
E 水冷入水口
F 温度传感器连接
冷出水口
E 水冷入水口
F 温度传感器连接
技术指标
| 入口法兰 | ISO250F |
|---|---|
| 前级抽气口 | KF40 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 水冷安装 | PT1/4 |
| 抽速 N2/ H2 | 2200/1700l/s |
| 压缩比 N2/H2 | >108/2.5×104 |
| 极限真空（加热） | 10-6 Pa |
| 前级允许压力（水冷） | 400Pa |
| 最大N2通量（水冷） | 1500sccm |
| 额定转速 | 27000rpm |
| 启动时间 | 7min |
| 安装方式 | 任意 |
| 水冷 流速 | 2l/min |
| 水冷 温度 | 5~25°C |
| 水冷 压力 | 0.3MPa |
| 推荐吹扫流量 | 推荐吹扫流量 20sccm |
| 输入电压 | 200~240 V （± 10）AC |
| 启动功耗 | 1.5kVA |
| 泵重 | 61 kg |
| 控制器重 | 12kg |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| YT4V0Z002 | STPA2203C涡轮分子泵 进口ISO250F |
| YT4V0Z003 | STPA2203C涡轮分子泵 进口DN250CF |
| YT4V66001 | STPA2203CV TMS 涡轮分子泵 进口ISO250F |
| YT4V66002 | STPA2203CV TMS 涡轮分子泵 进口DN250CF |
| YT76Z0Z00 | SCU-1600控制器 |
| B75030010 | STP控制电缆，5m |
| PT351V000 | STPA2203CV TMS 连接电缆套件，5 m |