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STPA803C 涡轮分子泵
Edwards STPA803C涡轮分子泵是为半导体应用而专门设计的，领先的转子技术成就了Edwards分子泵在绝大多数工艺流程中一流的性能。STPA803C已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的设备研发与制造。
性能特点
应用领域
性能曲线
1 800l/s N2 2 520l/s H2
几何尺寸
A 电连接口 B 出气口 C 吹扫口
技术指标
| 入口法兰 | ISO160F |
|---|---|
| 前级抽气口 | KF40 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 水冷安装 | PT1/4 |
| 抽速 N2/ H2 | 800/520l/s |
| 压缩比 N2/H2 | >108/103 |
| 极限真空（加热） | 10-7 Pa |
| 前级允许压力 | 270Pa |
| 最大N2通量 | 1500sccm |
| 额定转速 | 32500rpm |
| 启动时间 | 7min |
| 入口法兰允许温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 200~240 V （± 10）AC |
| 启动功耗 | 0.85kVA |
| 泵重 | 39 kg |
| 控制器重 | 9kg |
订货信息
| YT36B0040 | STPA803C涡轮分子泵 进口ISO160F |
|---|---|
| YT36B0010 | STPA803C涡轮分子泵 进口DN160CF |
| YT3626000 | STPA803CV（TMS）涡轮分子泵 进口ISO160F |
| YT3626003 | STPA803CV（TMS）涡轮分子泵 进口DN160CF |
| YT49Z2Z00 | SCU-800控制器 |
| B75130020 | STP直连电缆，5m |
| PT330V000 | TMS连接电缆套件，5m |