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STP-iXA2206C 涡轮分子泵

STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵在工业领域中性能领先，集成有小型电源，来源于STP-iXA2205的最新技术。

该泵高度与STP-A2203C相同，也与STP-iXA2205（不带电源iPS-1200）相同。它完全集成的产品特性使其易于安装，且占用空间小，可作为所有应用的一体化解决方案。

性能特点

 

• 设计紧凑，带有完整的集成控制器

• 独创的自适应磁悬浮轴承系统

• 数字化5轴控制

• 与普通涡轮分子泵相比振动降低了50%

• 可用于腐蚀性工艺流程

应用领域

 

• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

几何尺寸

进气口法兰 VG250 ISO250F ICF305
ØA 350 335 305
ØB 296 296 296
C 18 16 28
D 235 245 275
E 395 405 435
F 312 322 352
G 281 291 321
H 283 293 323
I 322 332 322

技术指标

入口法兰 ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口 KF40
抽速 N2/Ar 2200/1900l/s
压缩比 N2/H2 >108/1×104
极限真空 10-7 Pa
前级允许压力 266Pa
最大N2流速 *（仅水冷） 3000sccm
最大Ar流速 *（仅水冷） 1400sccm
额定转速 27000rpm
启动时间 <8 min
安装位置 任何方向
输入电压 200-240 V
最大功率（不带TMS） 1200 VA
重量 62 kg

订货信息

货号 描述
YT810Z010 STP-iXA2206C涡轮分子泵 ISO250F
YT810Z020 STP-iXA2206C涡轮分子泵 VG250
YT810Z030 STP-iXA2206C涡轮分子泵 DN250CF
YT810Z040 STP-iXA2206C涡轮分子泵 ISO250F，Profibus
YT63U1Z30 iDT-001显示单元
B75030020 电源线，5m