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STP-L301 涡轮分子泵

Edwards抗腐蚀STP-L301（C）涡轮分子泵常用于电子显微镜和半导体应用，领先的转子技术成就了Edwards分子泵在绝大多数工艺流程中一流的性能。

STP-L301（C）已为业内所认可，广泛应用于科学仪器、半导体和磁介质行业的设备研发与制造。

性能特点

 

•  领先的转子技术

•  适合于绝大多数工艺流程

•  无油

•  低振动

•  高可靠性

应用领域

 

•  金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

•  电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

•  CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

•  溅射

•  离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

几何尺寸

A  电连接口  B  出气口

技术指标

入口法兰 ISO100、CF100
前级抽气口 KF25
吹扫口 KF10
抽速 N2/ H2 260/290l/s
压缩比 N2/He/H2 >108/5×105/>2×104
极限真空（加热） （VG/ISO 法兰） 6.5×10-6 Pa
极限真空（加热） （ICF 法兰） 10-8 Pa
进口最大允许压力 （空冷） 6.7×10-2Pa
前级允许压力 （空冷） 13Pa
额定转速 48000rpm
启动时间 3min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V （± 10）AC
启动功耗 0.55kVA
泵重 13 kg
控制器重 7kg

订货信息

货号 描述
B75800010 STP-L301C涡轮分子泵 进口ISO100
B75800090 STP-L301涡轮分子泵 进口ISO100
PT470Z000 STP-L301涡轮分子泵 进口DN100CF
PT47AZ030 STP-L301C涡轮分子泵 进口ISO100
PT21Z0Z04 SCU-21控制器
YT21CA001 STP301/451水冷环
YT011A005 STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC
B70700010 STP直连电缆，3m
PT21Y0B08 连接电缆，12m