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STP1003 涡轮分子泵

Edwards STP1003C是一款新型抗腐蚀的涡轮分子泵，用于许多尖端的半导体应用，领先的转子技术成就了Edwards分子泵在绝大多数工艺流程中一流的性能。

STP603已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的设备研发与制造。

性能特点

 

•  领先的转子技术

•  适合于绝大多数工艺流程

•  无油

•  低振动

•  高可靠性

应用领域

 

•  金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

•  电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

•  CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

•  溅射

•  离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

1  N2  2  He  3  H2

几何尺寸

A  电连接口  B  出气口  C  吹扫口

技术指标

入口法兰 ISO200F
前级抽气口 KF40
吹扫口 KF10
抽速 N2/ H2 1000/800l/s
压缩比 N2/H2 >108/>105
极限真空（加热） （VG/ISO 法兰） 10-7 Pa
极限真空（加热） （ICF 法兰） 10-8Pa
前级允许压力 （空冷） 13Pa
额定转速 35000rpm
启动时间 6min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V （± 10）AC
启动功耗 0.8kVA
泵重 31 kg
控制器重 9kg

订货信息

货号 描述
YT39B0130 STP1003C涡轮分子泵 进口ISO200F
YT390Z001 STP1003涡轮分子泵 进口ISO200F
PT39AZ003 STP1003C涡轮分子泵 进口DN200CF
YT39B0010 STP1003涡轮分子泵 进口DN200CF
YT49Z2Z00 SCU-800控制器
YT170A001 STP603/STP1003水冷环
YT011A005 STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC
B75130020 STP直连电缆，5m
B75130050 连接电缆，3m