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STP603 涡轮分子泵

Edwards STP603是一款新型的涡轮分子泵，用于许多尖端的半导体应用，领先的转子技术成就了Edwards分子泵在绝大多数工艺流程中一流的性能。

STP603已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的设备研发与制造。

性能特点

 

•  领先的转子技术

•  适合于绝大多数工艺流程

•  无油

•  低振动

•  高可靠性

应用领域

 

• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

几何尺寸

A  电连接口  B  出气口  C  吹扫口

技术指标

入口法兰 ISO160F
前级抽气口 KF40
抽速 N2/ H2 650/550l/s
压缩比 N2/H2 >108/>105
极限真空（加热） （VG/ISO 法兰） 6.5×10-6 Pa
极限真空（加热） （ICF 法兰） 10-7Pa
前级允许压力 （空冷） 13Pa
额定转速 35000rpm
启动时间 6min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V （± 10）AC
启动功耗 0.8kVA
泵重 31 kg
控制器重 9kg

订货信息

货号 描述
YT39B0030 STP603涡轮分子泵 进口ISO160F
YT39B0110 STP603C涡轮分子泵 进口ISO160F
YT390Z005 STP603涡轮分子泵 进口DN160CF
YT39AZ002 STP603C涡轮分子泵 进口DN160CF
YT49Z2Z00 SCU-800控制器
YT170A001 STP603/STP1003水冷环
YT011A005 STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC
B75130020 STP直连电缆，5m
B75130050 连接电缆，3m