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nEXT 930 涡轮分子泵
EDWARDS在nEXT涡轮分子泵基础上新增了下一代nEXT730和nEXT930，通过nEXT730和nEXT930，EDWARDS扩展了我们的市场领先的nEXT平台的范围，两个新的更大的泵提供速度显著超过7001/S和9001/S。除了针对一般的研发市场，这批分子泵的设计还满足了涂料市场和其他分散市场部门的需求，如热处理、炉膛应用、电子束焊接、离子注入、脱气和气缸排气等。
性能特点
• 更高抽速（N2）- 730 l/s、925 l/s
• 360°任意角度安装
• TIC 控制器可同时控制分子泵和三路真空规管
• 维护间隔长，用户可自主维护
• 设计灵活，满足OEM定制需求
性能曲线
几何尺寸
技术指标
| 930D | |
|---|---|
| 入口法兰 | ISO200， CF200 |
| 出口法兰 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 925 1/s |
| Ar | 865 1/s |
| He | 9051/s |
| H2 | 735 1/s |
| 漏率（mbar. 1/s） | |
| N2 | 14 1/s |
| Ar | 3.5 1/s |
| He | 21 1/s |
| H2 | >>14 |
| 压缩比 | |
| N2 | >1×1011 |
| Ar | >1×1011 |
| He | 1.2×108 |
| H2 | 4.0×106 |
| 极限真空 | <3.5×10-9 /<6×10-10mbar |
| 前级真空压力 | 15mbar |
| 额定转速 | 49200 min-1 |
| 启动时间 | 2.5min |
| 功率范围 | 40~400w |
| 冷却标准 | 对流 |
| 冷却方式 | 空冷/水冷 |
| 最小水冷流速 | 60 1/h |
| 允许冷却水压力 | 6bar(g) |
| 水温范围 | 15~35℃ |
| 重量 | 15.4kg ，21.7kg |
| 噪音 | <52 ±2 dB（A） |
| 烘烤期间的进气法兰允许最高温度（水冷） | 100℃ |
| 可处理气体流量 | 0.4mbar.1/s ，24sccm |
| 放气口/吹扫口 | G 1/8″ |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| B8K200D00 | nEXT 930D涡轮分子泵：NW25 ISO-K 200 |
| B8K200F00 | nEXT 930D涡轮分子泵：NW25 CF200 |