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STPA1303C 涡轮分子泵

Edwards STPA1303C涡轮分子泵是为半导体应用而专门设计的，领先的转子技术成就了Edwards分子泵在绝大多数工艺流程中一流的性能。STPA1303C已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的设备研发与制造。

性能特点

 

• 领先的转子技术

• 高通气量

• 适合于绝大多数工艺流程

• 无油

• 低振动

应用领域

 

• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜
• 溅射
• 离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

1  1300l/s N2  2  800l/s H2

 

几何尺寸

A  电连接口  B  出气口  C  吹扫口

技术指标

入口法兰 ISO200F
前级抽气口 KF40
吹扫口 KF10
水冷安装 PT1/4
抽速 N2/ H2 1300/800l/s
压缩比 N2/H2 >108/103
极限真空（加热） 10-7 Pa
前级允许压力（水冷） 270Pa
最大N2通量（水冷） 1500sccm
额定转速 32500rpm
启动时间 7min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V （± 10）AC
启动功耗 0.85kVA
泵重 39 kg
控制器重 9kg

订货信息

货号 描述
B71802020 STPA1303C涡轮分子泵 进口ISO200F
YT36B0030 STPA1303C涡轮分子泵 进口DN200CF
YT3626005 STPA1303C TMS 涡轮分子泵 进口ISO200F
YT3626004 STPA1303C TMS 涡轮分子泵 进口DN200CF
YT49Z2Z00 SCU-800控制器
B75130020 STP控制电缆，5m
PT330V000 TMS连接电缆套件，5m