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STPH451 涡轮分子泵

Edwards的高性能STPH451C涡轮分子泵是为最苛刻的半导体应用而设计的。该泵性能领先、运行可靠，成就了它在绝大多数工艺流程中一流的性能。

STPH451C已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的设备研发与制造。

性能特点

 

•  领先的转子技术

•  高通气量

•  适合于绝大多数工艺流程

•  无油

•  低振动

应用领域

 

• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

1  300l/s N2  2  280l/s He  3  200l/s H2

几何尺寸

A  电连接口

B  出气口

C  吹扫口

D  水冷出水口

E  水冷入水口

技术指标

入口法兰 ISO160K
前级抽气口 KF40
吹扫口 KF10
水冷安装 PT1/4
抽速 N2/ H2 450/300l/s
压缩比 N2/H2 >108/103
极限真空（加热） 10-7 Pa
前级允许压力 660Pa
最大N2通量 2500sccm
额定转速 额定转速 48000rpm
启动时间 4min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V （± 10）AC
启动功耗 0.6kVA
泵重 15 kg
控制器重 9kg

订货信息

货号 描述
B71901001 STPH451C涡轮分子泵 进口ISO160K
PT340Z005 STPH451C涡轮分子泵 进口DN160CF
YT3416007 STPH451CV TMS涡轮分子泵 进口ISO160F
YT3416006 STPH451CV TMS涡轮分子泵 进口DN160CF
YT49Z2Z00 SCU-800控制器
B75130020 STP直连电缆，5m
B75130050 连接电缆，3m
PT330V000 TMS连接电缆套件，5m