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STP-iXA3306C 涡轮分子泵

STP-iXA3306系列磁悬浮涡轮分子泵在工业领域中性能领先，集成有小型电源，来源于STP-iXA3305的最新技术。

该泵高度与STP-XA2703/XA3203相同，也与STP-iXA3305（不带电源iPS-1200）相同。它完全集成的产品特性使其易于安装，且占用空间小，可作为所有应用的一体化解决方案。

• 设计紧凑，带有完整的集成控制器

• 独创的自适应磁悬浮轴承系统

• 数字化5轴控制

• 与普通涡轮分子泵相比振动降低了50%

• 可用于腐蚀性工艺流程

• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

* 最大气体流速适用于在25°C水冷温度下连续抽N2或Ar，并且前级泵抽速为10000l/min。如若条件变化，则最大气体流速会发生变化。