性能特点

 

• 泵和控制器之间无需连接电缆

• 省安装空间和成本,无需传统机架安装控制器

• 设计紧凑型,安装更加方便,占用空间更小

• 沿袭STP-A1603,在8″TMP同类产品中抽速最高

• 在高气体流速领域,功耗降低了32%

• 标配I/O远程、RS232C、RS485、STP-Link端口

应用领域

 

• 玻璃涂层

• 太阳能PVD

• 工业溅射

性能曲线

几何尺寸

技术指标

入口法兰
VG200/VG250 VG150
ISO200F/ISO250F ISO160F
ICF253/ICF305 ICF203
前级抽气口 KF40 KF40
抽速
N2 1600l/s 900l/s
H2 1200l/s 600l/s
压缩比
N2 >108 >108
H2 1×103 1×103
极限真空 10-7 Pa 10-7 Pa
前级允许压力 266 Pa 266 Pa
最大N2流速 (仅水冷) 4700sccm 4700sccm
最大Ar流速 (仅水冷) 1800sccm 1800sccm
额定速度 36500rpm 36500rpm
启动时间 8min 8min
安装位置 任何方向 任何方向
输入电压 200~ 240(±10)V AC 200~ 240(±10)V AC
最大输入功率 750VA 750VA
重量 48 kg 48 kg

订货信息

货号 描述
YT790Z010 STP-iXR1606涡轮分子泵:ISO200F
YT790Z070 STP-iXR1606涡轮分子泵:ISO160F
YT790Z040 STP-iXR1606涡轮分子泵:ISO250F
YT790Z020 STP-iXR1606涡轮分子泵:VG200
YT790Z080 STP-iXR1606涡轮分子泵:VG150
YT790Z110 STP-iXR1606涡轮分子泵:ISO250F,Profibus
YT790Z100 STP-iXR1606涡轮分子泵:ISO200F,Profibus
YT79U1Z00 iDT-001显示终端