性能特点

• 平均无故障时间(MTTF)可达5000000次

• 抽气受控,适合相应流程

• 铝质阀体

• 一旦停电,可以快速反应

• 提供5mm、6mm和7mm可更换孔板

性能曲线

应用

从阀打开时,气流以较低流速在阀的两侧间流过可更换孔板,实现慢抽速。达到用户设定压力后,主阀根据用户提供的信号打开,实现全通径泵送。

波纹管密封的阀门,单向执行,气动打开,弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板,以使泵的性能符合您的要求。标准配置中包含一个微开关,用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到100℃以加速脱气,防止气体在阀门内冷凝。

SIPVP软启动隔断阀主要用于半导体行业,但也可用在其它需控抽气的应用中。

几何尺寸

技术指标

阀门操作类型 单向,电动打开,弹簧关闭
压力范围 1×10-9~2100mbar/ 8×10-10~1575Torr
最大压差
打开 1000mbar/750Torr
关闭 2100mbar/1575Torr
漏率 10-9mbar l/s(10-10Torr l/s)
气动连接 Rp 1/8(1/8" BSP)
气动工作压力 2.8~4.2bar
电器指示器 单个微开关
微开关电器额定值 24V,1.5A AC或DC
最大循环频率 900次/ h
波纹管可靠性 5000000次(MTTF)
工作环境温度 5~100℃
最高加热温度 100℃
材质 HE30TF 铝
O型圈 氟橡胶
4bar时的开/关时间 SIPV25P(SIPV40P)
重量
SIPV25P 920 g
SIPV40P 1760 g

订货信息

货号 描述
C41624000 SIPV25P软启动隔断阀 气动,波纹管密封,铝
C41644000 SIPV40P软启动隔断阀 气动,波纹管密封,铝