Gamma 非蒸发吸气泵（NEG）

非蒸发吸气泵（NEG）使用了加压在固态基板或烧结成圆片的活性金属。研究发现利用特殊工艺将锆、钒、铁烧结成一体特别适合于高真空和超高真空环境，而且材料用量直接影响NEG泵的抽速和气体捕集量。NEG泵的抽速为50~3500l/s（H₂）。随着 NEG 内气体的饱和，它可以在不需要破空大气的环境下再活化。其主要优势在于能够在无需电源的情况下长时间抽真空。
       非蒸发吸气泵（NEG）非常适合于抽空和维持真空应用，也可用于进一步提升离子泵性能，或单独使用抽真空。由于其尺寸紧凑、H₂ 抽速较高，因此是UHV应用的理想选择。NEG通常不适用于频繁从大气压开始抽真空的应用，因为这会使NEG气体饱和，NEG的活化次数有限。